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Date	2006/08/18 17:48:33
Name	goGo!!@heaveN.
Subject	선형가속기 (Linac)에 대하여 궁금합니다. 도와주세요-_-;
https://pgr21.com/bug/19910 삭게로! 제가 반도체 회사(implant)공정에 신입사원으로 입사를했는데 이번에 과제발표가 있어서 linac에 대하여 조사하려고 하는데 자료가 너무 없네요 Linac(선형가속기)이라함은 implant 공정 Hing Energy장비에서 쓰이는데요 (그 외에 다른 분야에서도 쓰이는 것으로 알고있는데요) 보통 RF AMP, Resonator를 합쳐서 부르는듯합니다.. 장비의 원리와 역할, 사용조건(이장비에는 절연가스인 SF6가 들어가더군요)등이 알고싶은데 자료가 워낙없어서요.. 시간도 촉박하고.. 저에겐 정말 중요한 일입니다.. 어떤 자료라도 좋으니 자료를 구할 수 있는 사이트나 위치알려주시면 감사하겠고요 Linac에 대해서 알기 쉽게 또는 자세히 설명해 주실 분 찾습니다 ㅠㅠ 부탁드립니다

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